在真空爐中，石墨立柱（Graphite Columns/Posts）的溫度操控對結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性、熱均勻性及工藝重復(fù)性 至關(guān)重要。其溫度操控需綜合考慮熱傳導(dǎo)特性、機械應(yīng)力分布、環(huán)境真空度及加熱/冷卻速率等因素。
1.石墨立柱溫度操控的核心挑戰(zhàn)
軸向溫度梯度大，高度方向熱傳導(dǎo)慢，導(dǎo)致曲折變形（ΔL/L2＞0.1%），徑向熱膨脹不均，外表與芯部溫差顯著，產(chǎn)生環(huán)向裂紋（特別＞1200℃），電極銜接點過熱，接觸電阻會集發(fā)熱，部分石墨氧化加快，冷卻階段應(yīng)力會集，內(nèi)外縮短速率差異，立柱外表剝落或斷裂。
2.溫度操控優(yōu)化方案
(1)加熱階段操控
    分區(qū)獨立加熱：將立柱沿高度分為3~4個溫區(qū) ，每區(qū)配置獨立熱電偶（Type C鎢錸熱電偶，0~2300℃）和PID操控器（調(diào)理精度±5℃）。
引薦參數(shù)：
    低溫段（RT~800℃）：升溫速率≤5℃/min
    高溫段（800℃~方針溫度）：升溫速率≤3℃/min
熱場均勻化設(shè)計
    反射屏優(yōu)化：在立柱周圍布置多層鉬箔反射屏（距離10~15mm），減少輻射熱損失。
    輔助加熱器：在立柱底部加裝環(huán)形石墨加熱器，補償?shù)撞可幔üβ拭芏取?0W/cm2）。
(2)冷卻階段操控
    階梯式降溫：從方針溫度→1000℃：降溫速率≤8℃/min。1000℃→600℃：降溫速率≤5℃/min，＜600℃后可自然冷卻
    惰性氣體淬火（可選）：通入高純氬氣（流量30~50L/min），加快冷卻一起避免氧化（需合作氣體導(dǎo)流板）。
(3)結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化
    開槽減應(yīng)力：在立柱外表加工軸向散熱槽 （深度3~5mm，寬度2mm），緩解熱應(yīng)力會集。
    電極銜接改善：選用錐形螺紋接口（石墨-鉬復(fù)合電極），接觸壓力≥1MPa，下降接觸電阻。
3.要害監(jiān)測參數(shù)與辦法
    嵌入式熱電偶（距離≤200mm），溫差≤30℃（高度方向），紅外熱像儀（5~8μm波段），外表與芯部ΔT≤50℃，曲折量≤0.05%高度，全長電阻誤差≤±3%。
4.常見問題與解決方案
    立柱頂部溫度偏低，對流散熱快+熱傳導(dǎo)缺乏，增加頂部輔助加熱器+優(yōu)化反射屏距離。
    冷卻后出現(xiàn)縱向裂紋，熱應(yīng)力開釋不均，冷卻速率下降50%+增設(shè)保溫平臺（如800℃保溫30min）
    電極銜接處電弧放電，接觸面氧化導(dǎo)致電阻增大，定期打磨接觸面+涂覆導(dǎo)電漿料（如石墨烯基）。
5.智能化操控升級
    數(shù)字孿生模型：基于COMSOL模仿立柱的溫度-應(yīng)力耦合場 ，預(yù)判熱變形趨勢并動態(tài)調(diào)整溫區(qū)功率。
    自適應(yīng)PID算法：依據(jù)實時電阻變化自動調(diào)理輸出功率（如含糊PID操控呼應(yīng)時刻＜1s）。
7.保護與壽數(shù)延伸
    定期檢測：每100小時查看立柱外表氧化層厚度（超聲波測厚，允許磨損≤0.2mm）。
    旋轉(zhuǎn)使用：每500小時將立柱旋轉(zhuǎn)180°，均衡熱負(fù)荷分布。
    經(jīng)過上述優(yōu)化，石墨立柱的軸向溫差可操控在±20℃以內(nèi)，熱應(yīng)力損傷危險下降60%。關(guān)于極端工況（如＞2000℃），建議選用C/C復(fù)合材料+內(nèi)嵌鉬合金支撐骨架的復(fù)合結(jié)構(gòu)。