鐘罩爐石墨盤的效果及工作原理
效果
承載與定位工件
    石墨盤作為工件（如晶圓、硅片、金屬件等）的承載渠道，經(jīng)過定制化規(guī)劃（如凹槽、凸臺）固定工件，避免其在高溫下移動或變形，保證工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性。
均勻熱傳導(dǎo)
    石墨盤利用其高導(dǎo)熱性（導(dǎo)熱系數(shù)約200-2000W/(m·K)），將熱量從熱源（如電阻絲、感應(yīng)線圈）均勻傳遞至工件表面，消除溫度梯度，保證工藝的一致性。
耐高溫與化學(xué)穩(wěn)定性
    石墨盤可承受2000℃以上的高溫，且在惰性氣體或真空環(huán)境下不與工件發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保證工藝的純凈度和工件質(zhì)量。
工藝適配性
    依據(jù)不同工藝需求，石墨盤可定制形狀、尺度和熱場散布，適配半導(dǎo)體、光伏、粉末冶金等范疇的高精度熱處理工藝。
工作原理
熱傳導(dǎo)機(jī)制
    石墨盤經(jīng)過導(dǎo)熱銅管或直接觸摸熱源，將電能或燃?xì)饽茉崔D(zhuǎn)化為熱能。
熱量經(jīng)過石墨的高導(dǎo)熱性均勻傳遞至盤面，再傳導(dǎo)至工件，完成高溫加熱。
溫度操控
    經(jīng)過熱電偶實(shí)時(shí)監(jiān)測盤面溫度，反應(yīng)至操控系統(tǒng)。
    操控系統(tǒng)調(diào)節(jié)加熱功率，保證盤面溫度均勻性（通常操控在±1℃以內(nèi)），滿足高精度工藝需求。
熱場優(yōu)化
    經(jīng)過導(dǎo)熱銅管布局、分區(qū)加熱和熱補(bǔ)償規(guī)劃，優(yōu)化盤面熱場散布，減少溫度差異。
    在高溫工藝中，石墨盤的熱慣性低，響應(yīng)速度快，可完成快速升溫文降溫。
資料特性支撐
    石墨的高純度（≥99.99%）和低雜質(zhì)特性，避免污染工件。
    石墨的抗氧化涂層（如SiC）延長使用壽命，減少維護(hù)本錢。