在真空爐中，石墨螺母（Graphite Nuts）的調(diào)試需關(guān)鍵重視其高溫密封性、螺紋協(xié)作精度、抗蠕變功用 及導(dǎo)電穩(wěn)定性 。以下是分進(jìn)程的調(diào)試要求與技術(shù)規(guī)范：
1.調(diào)試前預(yù)備
(1)資料與規(guī)范驗(yàn)證
質(zhì)料檢測(cè)：
    供認(rèn)石墨商標(biāo)（如ISO-1234等靜壓石墨），灰分≤100ppm，密度≥1.78g/cm3。
    檢查螺紋精度：用不銹鋼規(guī)范螺栓（如M6×1.0）手動(dòng)旋入，應(yīng)無(wú)卡滯且徑向空位≤0.05mm。
表面處理：
    螺紋區(qū)噴砂處理（Al2O2砂粒，粒度80目），Ra≤1.6μm。
(2)環(huán)境條件
    真空度 ：預(yù)抽避免氧化導(dǎo)致的螺紋咬合。
    溫度預(yù)調(diào)：以10℃/min升溫至500℃并保溫1h，開(kāi)釋內(nèi)應(yīng)力。
2.機(jī)械協(xié)作調(diào)試
(1)常溫扭矩查驗(yàn)
螺紋規(guī)范
    舉薦設(shè)備扭矩（N·M）
    最大容許扭矩（N·M）
    M6×1.0
    1.2±0.2
    2.0
    M8×1.25
    2.5±0.3
    4.0
檢測(cè)方法：
    運(yùn)用數(shù)字扭矩扳手，緩慢旋入至方針扭矩，反向旋出后檢查螺紋磨損（顯微鏡觀測(cè)無(wú)掉落）。
(2)高溫蠕變查驗(yàn)
條件：
    加載80%額外載荷（如M6螺母加載500N），升溫至1500℃保溫24h。
合格規(guī)范：
    螺紋變形量≤0.02mm（三坐標(biāo)丈量?jī)x檢測(cè)）；
    拆開(kāi)力改動(dòng)≤±10%初始值。
3.密封功用調(diào)試
(1)靜態(tài)密封查驗(yàn)
方法：
    在螺紋協(xié)作面涂覆石墨膏（厚度≤0.1mm）；
    施加1.5倍作業(yè)壓力。
(2) 動(dòng)態(tài)熱循環(huán)密封
    流程：循環(huán)次數(shù)1-5次，溫度規(guī)劃RT→800℃，檢測(cè)要求，每次循環(huán)后漏率無(wú)添加，6-10次，800℃→1500℃，螺紋觸摸面無(wú)碳化堆積
4.電學(xué)功用調(diào)試
(1)觸摸電阻查驗(yàn)
    四線法丈量：在螺母-螺栓觸摸面通10A直流電，丈量壓降（規(guī)范值≤50μΩ·cm2）。
    高溫穩(wěn)定性：1500℃下電阻改動(dòng)率≤±5%（比照常溫值）。
    間斷條件 ：呈現(xiàn)電弧或溫升＞80℃當(dāng)即間斷。
5.高溫耐久性查驗(yàn)
    加快老化計(jì)劃：在1500℃、額外載荷下接連作業(yè)100h；
    每24h停機(jī)檢測(cè)：螺紋協(xié)作精度（通止規(guī)檢測(cè)）；分量丟掉（精度0.1mg，容許≤0.5%）。
6.調(diào)試陳說(shuō)模板
石墨螺母調(diào)試陳說(shuō)
- 編號(hào)：GN-2024-M6-001  
- 日期：2024-07-25  
1.根底參數(shù) 
   - 質(zhì)料：ISO-1234石墨（密度1.80g/cm3）  
   - 螺紋規(guī)范：M6×1.0（協(xié)作空位0.03mm）  
2.要害數(shù)據(jù) 
   | 查驗(yàn)項(xiàng)目    | **作用**              | **規(guī)范**            |  
   |-------------|----------------------|---------------------|  
   | 1500℃蠕變量 | 0.015mm             | ≤0.02mm            |  
3.定論：契合ASTM F104G-2018高溫緊固件規(guī)范，主張最大作業(yè)溫度≤1600℃。  
    經(jīng)過(guò)上述調(diào)試流程，石墨螺母在真空高溫環(huán)境下的密封壽數(shù)可達(dá)500次拆裝循環(huán) ，電流承載才干進(jìn)步30%（比照未調(diào)試狀況）。關(guān)于要害工況（如半導(dǎo)體設(shè)備），主張每200h進(jìn)行預(yù)防性螺紋空位復(fù)測(cè) 。