鐘罩爐石墨盤是鐘罩爐體系中的中心部件，其作用首要體現(xiàn)在承載工件、傳遞熱量、保證工藝安穩(wěn)性等方面，直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和工藝功率。以下從其中心功用、運(yùn)用場景及技能優(yōu)勢翻開分析：
一、中心作用
工件承載與定位
    功用：石墨盤作為工件（如晶圓、硅片、金屬件等）的承載渠道，通過定制化規(guī)劃（如凹槽、凸臺(tái)）固定工件，避免其在高溫下移動(dòng)或變形。
    示例：在半導(dǎo)體晶圓渙散工藝中，石墨盤表面加工圓形凹槽，保證12英寸晶圓精準(zhǔn)定位，避免因位移導(dǎo)致?lián)诫s不均。
均勻熱傳導(dǎo)
    功用：石墨盤通過高導(dǎo)熱性（導(dǎo)熱系數(shù)約200-2000W/(m·K)）將熱量從熱源（如電阻絲、感應(yīng)線圈）均勻傳遞至工件表面，消除溫度梯度。
技能手段：
    導(dǎo)熱銅管嵌入：銅管內(nèi)循環(huán)導(dǎo)熱介質(zhì)（如液態(tài)金屬），行進(jìn)熱傳導(dǎo)功率。
    多層結(jié)構(gòu)規(guī)劃：通過雙層或多層石墨盤結(jié)合導(dǎo)熱通道，優(yōu)化熱場散布。
作用：在光伏電池片燒結(jié)中，石墨盤使硅片表面溫度均勻性控制在±1℃以內(nèi)，避免因溫差導(dǎo)致的功率不堅(jiān)決。
耐高溫與化學(xué)安穩(wěn)性
    功用：石墨盤可承受2000℃以上的高溫，且在惰性氣體或真空環(huán)境下不與工件發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保證工藝純凈度。
    運(yùn)用：在碳化硅（SiC）單晶生長中，石墨盤作為坩堝托盤，在2200℃高溫下堅(jiān)持結(jié)構(gòu)安穩(wěn)，避免碳污染。
工藝適配性
    功用：依據(jù)不同工藝需求，石墨盤可定制形狀、規(guī)范和熱場散布。
案例：
    半導(dǎo)體范疇：高純度等靜壓石墨盤（純度≥99.99%）用于晶圓外延生長，避免雜質(zhì)引進(jìn)。
    金屬熱處理：高強(qiáng)度石墨盤用于淬火工藝，承受快速升降溫（如50℃/s）而不開裂。
二、運(yùn)用場景與價(jià)值
范疇 具體工藝 石墨盤的作用
半導(dǎo)體制作 晶圓渙散、氧化、外延生長 供給均勻熱場，保證摻雜濃度和外延層厚度一同，行進(jìn)器件功用。
光伏工業(yè) 硅片渙散、鈍化、銀漿燒結(jié) 保證硅片表面溫度均勻性，行進(jìn)電池片轉(zhuǎn)化功率（如PERC電池功率行進(jìn)0.15%）。
粉末冶金 硬質(zhì)合金燒結(jié) 承載粉末并均勻加熱，避免燒結(jié)體密度不均或開裂。
新資料研制 SiC單晶生長、石墨烯制備 在極點(diǎn)高溫下堅(jiān)持安穩(wěn)，避免污染或熱場不堅(jiān)決，保證資料功用。
三、技能優(yōu)勢
溫度均勻性
    通過導(dǎo)熱銅管、分區(qū)加熱和熱補(bǔ)償規(guī)劃，石墨盤可完結(jié)盤面溫度差異≤±1℃，滿足高精度工藝需求。
長壽數(shù)與低保護(hù)
    高密度等靜壓石墨（密度≥1.85g/cm3）和抗氧化涂層（如SiC）延伸運(yùn)用壽數(shù)，削減替換頻率。
定制化才干
    可依據(jù)工件規(guī)范、形狀和工藝要求定制石墨盤結(jié)構(gòu)，如異形凹槽、多層復(fù)合等。
四、總結(jié)
    鐘罩爐石墨盤的中心作用是通過高導(dǎo)熱性、耐高溫性和化學(xué)安穩(wěn)性，為工件供給均勻、安穩(wěn)的熱場，保證工藝質(zhì)量。其運(yùn)用掩蓋半導(dǎo)體、光伏、粉末冶金等范疇，是行進(jìn)產(chǎn)品良率和功用的要害部件。未來，跟著第三代半導(dǎo)體和高效光伏技能的開展，石墨盤將在更高溫度、更嚴(yán)苛環(huán)境下發(fā)揮更大價(jià)值。